巻取式蒸着は、包装材料としてのバリアフィルム形成や、電解コンデンサやフィルムコンデンサの電極材料の形成など幅広い用途があります。
図は最も基本的な蒸着機の断面構造を示しています。
巻き出しロールには基材として、プラスチックフィルムや金属箔などの広幅ロールが使用されています。
それをテンションをかけながらクーリンクロールに送り出します。
クーリングロールの内部には冷媒が循環し、常にフィルムを冷やす構造になっています。
クーリンロール下に蒸発源を配置し、蒸着する金属を過熱し、蒸発させます。
金属は、大気中では蒸発できないため、装置全体はタンクに収納され、全体を真空ポンプにより真空排気します。
真空度が上がった状態では金属の蒸発温度は下がるため、容易に蒸発が可能となります。
そして、蒸着した基材を巻取ロールに巻取ります。
